激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。

　　激光干涉儀的*性主要有以下幾點(diǎn)：

　　1. 精度高 激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm 量級，細(xì)分后更可達(dá)到n m量級。(安捷倫5530激光干涉儀線性精度能達(dá)到0.4PPM)

　　2. 應(yīng)用范圍廣 激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外，測量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等，還可以分光進(jìn)行多路測量。

　　3. 環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng) 即使光強(qiáng)衰減 90%，仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點(diǎn)，雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準(zhǔn)器和坐標(biāo)測量機(jī)，也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。